日本山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計提供基于現(xiàn)場積累的實(shí)績以及新算法開發(fā)的易于使用的?性能??品質(zhì)的壓力變送器、真空計。

藍(lán)寶石隔膜真空計

型號 SPG5□/6□/7□

藍(lán)寶石隔膜真空計 SPG5/6/7的受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機(jī)械特性優(yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過

檢測靜電容量，即使在高溫檢測環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)高的檢測重復(fù)性。

通過先進(jìn)的信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小的檢測，由微加工技術(shù)而形成的藍(lán)寶石

傳感器實(shí)現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。

日本山武azbil藍(lán)寶石隔膜真空計提高品質(zhì)

真空計多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，是容易因各種原因引起零點(diǎn)漂移的產(chǎn)品。真空計的零點(diǎn)漂

移會影響控制量，從而會影響最終產(chǎn)品的品質(zhì)。藍(lán)寶石隔膜真空計采用了零點(diǎn)不易漂移的構(gòu)造。

提高生產(chǎn)性

減少了設(shè)備的停機(jī)時間。備有用于減少停機(jī)避免時間浪費(fèi)的功能。

azbil藍(lán)寶石隔膜真空計改善工藝

改善對以前只能通過壓力信號的變化才能識別的各種信息進(jìn)行可視化的工藝的客戶作出貢獻(xiàn)。

藍(lán)寶石隔膜真空計是一種具有多種特點(diǎn)和優(yōu)勢的真空測量儀器。

其受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機(jī)械特性優(yōu)異的單晶體藍(lán)寶石，通過檢測靜電容量，即使在

高溫檢測環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)高的檢測重復(fù)性。通過先進(jìn)的信號處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了溫度特性、直線性等誤差小

的檢測，由微加工技術(shù)而形成的藍(lán)寶石傳感器實(shí)現(xiàn)了小型、輕量化的自加熱型隔膜真空計。

azbil藍(lán)寶石隔膜真空計

真空計多數(shù)在有大的壓力環(huán)境下使用，容易因各種原因引起零點(diǎn)漂移，而藍(lán)寶石隔膜真空計采用了零點(diǎn)

不易漂移的構(gòu)造，從而避免了零點(diǎn)漂移影響控制量和最終產(chǎn)品的品質(zhì)。

這種真空計有助于提高生產(chǎn)性，減少了設(shè)備的停機(jī)時間，備有用于減少停機(jī)避免時間浪費(fèi)的功能。

同時，它還能改善工藝，將傳統(tǒng)上僅從壓力信號的變化中理解的各種信息可視化，為客戶的流程改進(jìn)作出貢獻(xiàn)。

azbil藍(lán)寶石隔膜真空計

例如，阿自倍尓株式會社（Azbil Corporation）近日宣布開始銷售的新款 V8 藍(lán)寶石隔膜真空計，通過 MEMS

 加工技術(shù)強(qiáng)化了傳感器上的抗沉積性能，使零點(diǎn)偏移大幅減少到現(xiàn)有 SPG 型號的十分之一。此外，V8S 型

還具有一個與測量頭分立的控制單元，能夠在 250°C 高溫下使用。

總之，藍(lán)寶石隔膜真空計在半導(dǎo)體工藝等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用，不斷的技術(shù)創(chuàng)新使其性能不斷提升，為

相關(guān)行業(yè)的發(fā)展提供了有力支持。